慢性影响：皮炎，呼吸道和眼损害。

二、毒理学资料及环境行为

急性毒性：LC501410mg/m3，4小时(大鼠吸入)
危险特性：其蒸气与空气可形成爆炸性混合物。遇明火、高热能引起燃烧爆炸。遇水或水蒸气剧烈反应，放出的热量可导致其自燃，并放出有毒和腐蚀性的烟雾。与氧化剂接触会猛烈反应。
燃烧(分解)产物：氯化氢、氧化硅、一氧化碳、二氧化碳。

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3.现场应急监测方法:
　

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4.实验室监测方法:
用气相色谱-质谱法测定氯硅烷中的甲基氯硅烷——(Rath,H.J.；Wimmer,J.),《Fresemius’Z.Anal.Chem.》，1980，303，No5，394-396(德文)。《分析化学文摘》，1982.5

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5.环境标准:
美国 车间卫生标准 5ppm [HCL]

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6.应急处理处置方法:
一、泄漏应急处理

迅速撤离泄漏污染区人员至安全区，并进行隔离，严格限制出入。切断火源。建议应急处理人员戴自给正压式呼吸器，穿消防防护服。不要直接接触泄漏物。尽可能切断泄漏源，防止进入下水道、排洪沟等限制性空间。小量泄漏：用砂土或其它不燃材料吸附或吸收。大量泄漏：构筑围堤或挖坑收容；用防爆泵转移至槽车或专用收集器内，回收或运至废物处理场所处置。

二、防护措施

呼吸系统防护：可能接触其蒸气时，应该佩戴自吸过滤式防毒面具(全面罩)。紧急事态抢救或撤离时，建议佩戴自给式呼吸器。
眼睛防护：呼吸系统防护中已作防护。
身体防护：穿胶布防毒衣。
手防护：戴橡胶手套。
其它：工作现场禁止吸烟、进食和饮水。工作毕，淋浴更衣。保持良好的卫生习惯。

三、急救措施

皮肤接触：立即脱去被污染的衣着，用大量流动清水冲洗，至少15分钟。就医。
眼睛接触：立即提起眼睑，用大量流动清水或生理盐水彻底冲洗至少15分钟。就医。
吸入：迅速脱离现场至空气新鲜处。保持呼吸道通畅。如呼吸困难，给输氧。如呼吸停止，立即进行人工呼吸。就医。
食入：误服者用水漱口，给饮牛奶或蛋清。就医。

灭火方法：消防人员必须穿戴全身防火防毒服。灭火剂：二氧化碳、干粉、砂土。禁止用水或泡沫灭火。