四氟甲烷

产品名称

中文名

四氟甲烷
英文名

tetrafluoromethane
中文别名

四氟化碳

英文别名

Tetrafluor-methan

Tetrafluorkohlenstoff

Methane,tetrafluoro

Tetrafluorocarbon

perfluorocarbon

Freon 14

Refrigerant 14

Perfluoromethane

Carbon fluoride

MFCD00000371

CARBON TETRAFLUORIDE

Fluorocarbon 14

Halon 14

EINECS 200-896-5

常用名

四氟甲烷
C A S号

75-73-0

物理性质

密度

3.04 (vs air)
沸点

−130 °C(lit.)
熔点

−184 °C(lit.)
化学式

CF₄
结构式

1、摩尔折射率：7.3

2、摩尔体积（cm³/mol）：66.8

3、等张比容（90.2K）：105.0

4、表面张力（dyne/cm）：6.0

5、介电常数：无可用

6、偶极距（10^-24cm³）：无可用

7、极化率：2.89
闪点

N/A
分子量

88.00430
精确质量

87.99360
P S A
外观形状

无色气体
储存条件

储存注意事项储存于阴凉、通风的不燃气体专用库房。远离火种、热源。库温不宜超过30℃。应与易（可）燃物、氧化剂分开存放，切忌混储。储区应备有泄漏应急处理设备。
稳定性
水溶解性
形态
H L B值
粘度
PH值

作用/用途

【用途一】
用于各种集成电路的等离子刻蚀工艺，也用作激光气体及制冷剂

【用途二】
用于致冷剂、溶剂、润滑剂、绝缘材料、红外检波管的冷却剂。也用于制作低温液体压力计或作为惰性气体，或用于各种集成电路的等离子刻蚀工艺和激光气体。

制备方法

1.由碳与氟反应，或一氧化碳与氟反应，或碳化硅与氟反应，或氟石与石油焦在电炉里反应，或二氟二氯甲烷与氟化氢反应，或四氯化碳与氟化银反应，或四氯化碳与氟化氢反应，都能生成四氟化碳。四氯化碳与氟化氢的反应在填有氢氧化铬的高温镍管中进行，反应后的气体经水洗、碱洗除去酸性气体，再通过冷冻，用硅胶除去气体中的水分，最后经精馏而得成品。

2.预先称取5～10g的碳化硅粉末和0.1g的单质硅粉，置于镍盘中，使硅和碳化硅充分接触后，将镍盘放入蒙乃尔合金反应管中，向反应管内通入氟气，氟气先和单质硅反应，反应放热后，氟开始和碳化硅进行反应，通入等体积的干燥氮气以稀释氟气，使反应继续进行，生成气体通过液氮冷却的镍制捕集器冷凝，然后慢慢地气化后，将其通过装有氢氧化钠溶液的洗气瓶除去四氟化硅，随后通过硅胶和五氧化二磷干燥塔得到最终产品。

3.以活性炭与氟为原料经氟化反应制备。在装有活性炭的反应炉中，缓缓通入高浓氟气，并通过加热器加热、供氟速率和反应炉冷却控制反应温度。产品经除尘，碱洗除去HF、CoF2、SiF4、CO2等杂质、再经脱水可获得含量约为85%的粗品。将粗品引入低温精馏釜中进行间歇粗馏，通过控制精馏温度，除去O2、N2、H2，得到高纯CF4。

安全提醒

MSDS

第一部分：化学品名称

化学品中文名称：	四氟甲烷
化学品英文名称：	tetrafluoromethane
中文名称 2 ：	四氟化碳
英文名称 2 ：	carbon tetrafluoride
技术说明书编码：	76
CAS No. ：	75-73-0
分子式：	CF₄
分子量：	88.01

第二部分：成分 / 组成信息

有害物成分	含量	CAS No.
四氟甲烷		75-73-0

第三部分：危险性概述

危险性类别：
侵入途径：
健康危害：	能引起快速窒息。接触后可引起头痛、恶心和呕吐。
环境危害：
燃爆危险：	本品不燃，具窒息性。

第四部分：急救措施

皮肤接触：
眼睛接触：
吸入：	迅速脱离现场至空气新鲜处。保持呼吸道通畅。如呼吸困难，给输氧。如呼吸停止，立即进行人工呼吸。就医。
食入：

第五部分：消防措施

危险特性：	不燃。若遇高热，容器内压增大，有开裂和爆炸的危险。
有害燃烧产物：	氟化氢。
灭火方法：	本品不燃。切断气源。喷水冷却容器，可能的话将容器从火场移至空旷处。

第六部分：泄漏应急处理

应急处理：

迅速撤离泄漏污染区人员至上风处，并进行隔离，严格限制出入。建议应急处理人员戴自给正压式呼吸器，穿一般作业工作服。尽可能切断泄漏源。合理通风，加速扩散。如有可能，即时使用。漏气容器要妥善处理，修复、检验后再用。

第七部分：操作处置与储存

操作注意事项：	密闭操作，全面通风。操作人员必须经过专门培训，严格遵守操作规程。远离易燃、可燃物。防止气体泄漏到工作场所空气中。避免与氧化剂接触。搬运时轻装轻卸，防止钢瓶及附件破损。配备泄漏应急处理设备。
储存注意事项：	储存于阴凉、通风的库房。远离火种、热源。库温不宜超过 30 ℃。应与易（可）燃物、氧化剂分开存放，切忌混储。储区应备有泄漏应急处理设备。

第八部分：接触控制 / 个体防护

职业接触限值
中国 MAC(mg/m3) ：	未制定标准
前苏联 MAC(mg/m3) ：	未制定标准
TLVTN ：	未制定标准
TLVWN ：	未制定标准
监测方法：
工程控制：	生产过程密闭，全面通风。
呼吸系统防护：	一般不需要特殊防护，高浓度接触时可佩戴自吸过滤式防毒面具（半面罩）。
眼睛防护：	一般不需特殊防护。
身体防护：	穿一般作业工作服。
手防护：	戴一般作业防护手套。
其他防护：	避免高浓度吸入。进入罐、限制性空间或其它高浓度区作业，须有人监护。

第九部分：理化特性

主要成分：	纯品
外观与性状：	无色无臭气体。
pH ：
熔点 ( ℃ ) ：	-183.6
沸点 ( ℃ ) ：	-128.0
相对密度 ( 水 =1) ：	1.61(-130℃)
相对蒸气密度 ( 空气 =1) ：	无资料
饱和蒸气压 (kPa) ：	13.33(-150.7℃)
燃烧热 (kJ/mol) ：	无意义
临界温度 ( ℃ ) ：	-45.5
临界压力 (MPa) ：	3.74
辛醇 / 水分配系数的对数值：	无资料
闪点 ( ℃ ) ：	无意义
引燃温度 ( ℃ ) ：	无意义
爆炸上限 %(V/V) ：	无意义
爆炸下限 %(V/V) ：	无意义
溶解性：	不溶于水。
主要用途：	用作低温致冷剂及集成电路的等离子干法蚀刻技术。
其它理化性质：

第十部分：稳定性和反应活性

稳定性：
禁配物：	强氧化剂、易燃或可燃物。
避免接触的条件：
聚合危害：
分解产物：

第十一部分：毒理学资料

急性毒性：	LD50 ：无资料 LC50 ：无资料
亚急性和慢性毒性：
刺激性：
致敏性：
致突变性：
致畸性：
致癌性：

第十二部分：生态学资料

生态毒理毒性：
生物降解性：
非生物降解性：
生物富集或生物积累性：
其它有害作用：	该物质对环境可能有危害，应特别注意对大气的污染。氟代烃在低层大气中比较稳定，而在上层大气中可被能量更大的紫外线分解。

第十三部分：废弃处置

废弃物性质：
废弃处置方法：	根据国家和地方有关法规的要求处置。或与厂商或制造商联系，确定处置方法。
废弃注意事项：

第十四部分：运输信息

危险货物编号：	22033
UN 编号：	1982
包装标志：
包装类别：	O53
包装方法：	钢质气瓶。
运输注意事项：	采用刚瓶运输时必须戴好钢瓶上的安全帽。钢瓶一般平放，并应将瓶口朝同一方向，不可交叉；高度不得超过车辆的防护栏板，并用三角木垫卡牢，防止滚动。严禁与易燃物或可燃物、氧化剂等混装混运。夏季应早晚运输，防止日光曝晒。铁路运输时要禁止溜放。

第十五部分：法规信息

法规信息	化学危险物品安全管理条例 (1987 年 2 月 17 日国务院发布 ) ，化学危险物品安全管理条例实施细则 ( 化劳发 [1992] 677 号 ) ，工作场所安全使用化学品规定 ([1996] 劳部发 423 号 ) 等法规，针对化学危险品的安全使用、生产、储存、运输、装卸等方面均作了相应规定；常用危险化学品的分类及标志 (GB 13690-92) 将该物质划为第 2.2 类不燃气体。

第十六部分：其他信息

<, TR>

参考文献：
填表时间：
填表部门：
数据审核单位：
修改说明：
其他信息：
MSDS 修改日期：

原料简介

应用范围

毒性和生态

安全信息

符号	GHS04
信号词	Warning
危害声明	H280
警示性声明	P410 + P403
个人防护装备	Eyeshields;Gloves;half-mask respirator (US);multi-purpose combination respirator cartridge (US)
危害码 (欧洲)	F
安全声明 (欧洲)	S38
危险品运输编码	UN 1982 2.2
WGK德国	3
RTECS号	FG4920000
危险类别	2.2

是否危险品

危险性

危险类别码

危险等级

触发危险方式

安全技术说明书

环境影响程度

包装与储运