1.将钨粉和硅粉按摩尔比1∶2配料，将钛粉与石墨粉按摩尔比1∶1配料，然后分别混合均匀；将W-Si混合粉装在坩埚中央，Ti-C混合粉均匀装在W-Si混合粉与坩埚之间，最后在所有混合粉的顶部装一层Ti-C混合粉，坩埚内所装的Ti-C混合粉与W-Si混合粉的重量比例为(0.8～1.2)∶1；将装混合粉的坩埚装入一个密闭的反应器中，抽真空后充入氩气，然后用钨丝通电引发混合料间的反应；冷却后取出反应后的物料，将碳化钛与二硅化钨分开，分别破碎后得到碳化钛和二硅化钨粉末。
2.钨与化学计量的硅粉在氩气氛中于1200℃烧结可得WSi2。
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