真空镀膜机镀件出现白雾现象的原因与解决方案探讨

树恩化工

2024-01-23 09:55

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很多真空镀膜机工程师在镀膜工件完成后，有时会发现工件表面会出现白雾的问题，有的是出现在外表面，有的是出现在内表面，用丙酮或混合液擦拭，会有越擦越严重的现象，如果不能及时查明原因，就会造成不良率提升，这是很多镀膜工程师苦恼的问题，下面汇成真空小编为大家介绍一下出现膜外白雾和膜内白雾的原因，以及解决方法，希望能帮助到大家：
真空镀膜机镀工件白雾在内测，膜外白雾的成因较为复杂，可能的成因有：
① 膜结构问题：外层膜的柱状结构松散，外层膜太粗糙；
② 蒸发角过大，膜结构粗糙。
③ 温差：镜片出罩时内外温差过大
④ 潮气；镜片出罩后摆放环境的潮气
⑤ 真空室内POLYCOLD解冻时水汽过重
⑥ 蒸镀中充氧不完全，膜结构不均匀
⑦ 膜与膜之间的应力
改善思路：膜外白雾成因很多，但各有些特征，尽量对症下药。主要思路，一是把膜做的致密光滑些不容易吸附，二是改善环境减少吸附的对象。

改善对策：
㈠改善膜系，外层加二氧化硅，使膜表面光滑，不易吸附。改善镜片出罩时的环境（干燥、清洁）
㈡降低出罩时的镜片温度（延长在真空室的冷却时间）减少温差、降低应力。
㈢改善充氧（加大），改善膜结构。
㈣适当降低蒸发速率，改善柱状结构
㈤离子辅助镀膜，改善膜结构
㈥加上polycold解冻时的小充气阀（其功能是及时带走水汽）
㈦从蒸发源和夹具上想办法改善蒸发角。
㈧改善基片表面粗糙度。
㈨注意polycold解冻时的真空度。

真空镀膜机镀工件，白雾形成在膜内，无法用擦拭方法祛除。
可能的成因：
① 基片脏，附着前工程的残留物
② 镜片表面腐蚀污染
③ 膜料与膜料之间、膜料与基片之间的匹配。
④ 氧化物充氧不够。
⑤ 第一层氧化锆膜料，可能对某些基片产生白晕现象
⑥ 基片进罩前（洗净后）受潮气污染
⑦ 洗净或擦拭不良，洗净痕迹、擦拭痕迹
⑧ 真空室脏、水气过重
⑨ 环境湿度大

改善思路：基片本身的问题可能是主要的，镀膜是尽量弥补，镀膜本身最大的可能是膜料匹配问题。
改善对策：
㈠改进膜系，第一层不用氧化锆。
㈡尽量减少真空室开门时间，罩与罩之间在最短的时间内做好真空室的清洁、镀膜准备工作。
㈢真空室在更换护板、清洁后，最好能空罩抽真空烘烤一下，更换的护板等真空室部件必须干燥、干净。
㈣改善环境
㈤妥善保护进罩前在伞片上的镜片，免受污染。
㈥改善洗净、擦拭效果。
㈦改善膜匹配（考虑第一层用Al2O3）
㈧改善膜充氧和蒸发速率（降低）
㈨加快前工程的流程。前工程对已加工光面的保护加强。
㈩抛光加工完成的光面，必须立即清洁干净，不能有抛光粉或其他杂质附着干结。

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