【专利】盛美上海申请封闭组件相关专利

时间：2026-05-25 14:58 | 说化有益

+1 取消

微信扫一扫分享给朋友

本申请提供一种封闭组件和电镀设备。该封闭组件用于封闭电镀设备，电镀设备包括腔体和基板夹持组件，腔体具有开口，封闭组件包括盖体和连接装置，盖体套设于基板夹持组件上，以在夹盘进入腔体后封闭开口，使腔体处于封闭状态；其中，盖体与基板夹持组件被配置为可相对移动，以在盖体封闭开口后，使夹盘在腔体内可相对盖体移动；连接装置与基板夹持组件连接，用于在夹盘经开口进入腔体时，带动盖体移动并封闭开口；和/或，在夹盘经开口移出腔体时，带动盖体移动并脱离开口。即使基板夹持组件在腔体中移动，盖体也不受基板夹持组件的运动的影响，依旧能够封闭开口，进而保护腔体中的电镀液不被氧化，提升电镀液的稳定性。

声明：说化有益•表面处理联盟+发布此信息目的在于传播更多信息。说化有益•表面处理联盟+不保证该信息（包括但不限于文字、数据及图表）全部或者部分内容的准确性、真实性、完整性、有效性、及时性、原创性等。用户应按照自己的独立判断自行决定，据此操作，风险自担。

说化有益欢迎各方(自)媒体、机构转载、引用我们原创内容，但要严格注明来源说化有益：同时，我们倡导尊重与保护知识产权，如发现本站文章存在版权问题，烦请将版权疑问、授权证明、版权证明、联系方式等，发邮件至778088800@qq.com：我们将第一时间核实、处理。